一次純水的水質(zhì)對(duì)超純水的純化結(jié)果有很大的影響。做為超純水系統(tǒng)的供給水盡量不要使用離子交換樹(shù)脂水或是蒸餾水，其原因并不只是因?yàn)闀?huì)使超純水系統(tǒng)的性能無(wú)法完全發(fā)揮，并且還會(huì)降低純化柱與過(guò)濾膜的使用壽命。

利用逆滲透膜（RO）進(jìn)行水質(zhì)純化時(shí)，逆滲透膜的功能會(huì)受到自來(lái)水水質(zhì)（因地區(qū)的不同、季節(jié)的變化等）很大的影響，因?yàn)槟鏉B透膜是以比例原則來(lái)去除污染物，自來(lái)水的水質(zhì)越差，逆滲透純化后的水質(zhì)就越差。所以，以RO+EDI純水做為超純水系統(tǒng)的供給水是合適的，如此便可得到水質(zhì)穩(wěn)定的超純水。

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